2018年10月11日
在光電子器材制造業中，對硅片通過傳播要有應用硼也可以是磷源，化合物傳遞是8〃及上面的尺碼硅片最經常用的模式。氣態也可以是氣態源常見用在不勻性請求低的工藝流程中，而固態硬盤安裝傳播源不是種高請求傳播的優秀企業的防止方式。
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圣戈班從上世紀70年代開始開發固態源工藝，目前提供全方位的產品和技術支持。PDSR是Planar Diffusion Sources (平面擴散源）的商標。
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PDS固態硬盤源在全世界依據內有至關多的房地產業量產u盤的實績，中國人過去有至關多的公程師知曉這一技藝設備。由鐵陽離子灌入和固體氣態有至關多的領域者然而影響某個技藝設備為領域所認識，高上方會用鐵陽離子灌入，低上方會選澤固體氣態。
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目前由于以下三點，PDS固態源收到了越來越多的詢盤：
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1、國家地區安全特殊要求，等離子態氣態源的生產方式會談臨一定的的安全可能性；
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2、MEMS元件的工作擴漲，高密度分散所需熱分散流程；
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3、中高品質新產品的標準上升。
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PDS固態源的優勢
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1、先要是豎直性很好，尋常動用者回訪片內和片間豎直性能夠 保持到1%~2%。且樣品弊病地步低；
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2、第二步是PDSnvme固體源劇毒沒有危害的，對比一下于固體還氣態源，PDS的產品危害隔離需求很低。從固體還氣態源變革為nvme固體源僅要有修改圖片氣路，采購申請專用的石英晶體舟等簡單變革可以采用；
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3、使用的固態硬盤安裝源引起的參雜劑全封在硅片周邊，不能銜接在的設配排水管道以及門邊，便于的設配清理垃圾和保養；
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4、都可以十分簡單完成外擴散攝氏度，時長和和氣氣流來操作要的受眾品牌，不陸續生產的之時也有利導出來和保留；
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5、利用技藝其中的膜厚在線測量能否預測生產的品質保證；
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6、跟陽離子注射到比較，固定源有一次蔓延一兩個舟還可以蔓延25片，熱效率很高。
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PDS固態源的適用性
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1、PDS固體源迄今為止還可以做起的極限長度為8〃；
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2、必須適用作于橫向爐管而未能用作垂線爐管；
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3、曾經液體氣態粘附路是需用實現氣路進行改造才華施用，的過程 是需用通氫氣；
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4、應該專門的石英石舟合作。
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圣戈班專業對口該新產品的加工快50年，過去的有本身的對外擴散爐產品，在一回前不久回的售前工程師售后維修點技木不支持中，總計海量的現實的加工數據源和相關問題很好解決的解決方案。
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