mini管道閥門可減輕晶圓制造主要儀器的被污染的可能性

2019年08月08日

挑戰

要了解到每一種形式的單向閥都有著個人的用領域,首選一臺兩相流處里單向閥在過往是很比較容易的。pu氣管閥關鍵代替處里精磨液和蝕化性兩相流。是因為pu氣管閥的外觀接觸的面積較小且被指出是最干凈干燥的單向閥,因而在半導加工中能夠 大量用。其實,在分析pu氣管閥干凈干燥度特性時,極大局限地提高被挪用兩相流的死容積是一種個更加重要的要注重的問題。這款死容積挪用很有可能會更加極其嚴重,并會決定加工成功率。于此,挪用和兩相流比調很有可能會導至配置時發現兩相流無效和生態破壞的問題,因而不僅需求木制托盤的透明夜體沖洗器單向閥,把無效或生態破壞的透明夜體刮走,而短缺更加比較的物理品。 如今,半導體設備和我的生命數學市場的三家代表著性企業主的工作師與當我們找,研討這種閥體解決辦法方案格式,期盼順利通過同樣激發,可達圣戈班現今閥體(3/16”)所無發可達的、使化學物質品挪用量最低值的耍求。

圣戈班設計服務解決方案

圣戈班的高純度系統團隊在其產品組合中推出了一款全新的Furon? HPV迷你閥門(1/8”)。這款全新閥門尺寸的出現以一種差異化的解決方案對圣
戈班現有的閥門體系進行了補充。它將幫助客戶滿足不斷增長的工藝潔凈度和制造成品率的要求。這款全新的閥門設計旨在優化流體流通路徑,以避
免可能出現的截留區域。

下表對比了Furon? HPV迷你閥門(1/8”)與競爭對手的一個1/8”閥門,性能優勢將緩解工藝挑戰。經確認,我們的設計在不犧牲Cv 的情況下,將流道
總體積從 0.50CC 減少到 0.30CC,我們認為這是一項重要的設計成就。
流道體積得到優化,這就意味著為了使系統穩定下來所需沖洗或吹掃時間更短,從而減少設備停機時間。

客戶體驗

圣戈班的全新Furon? HPV迷你閥門(1/8”)解決方案將使客戶能夠進一步減少因污染問題導致的任何設備停機或不必要的沖洗時間。
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